兰迪时讯-肖特在日本推出新型光敏玻璃

德国的特种玻璃厂商肖特（SCHOTT）将在日本市场推出光敏玻璃“FOTURAN II”，该产品可在紫外线照射下结晶化，可用做半导体及生物技术领域的玻璃基板。

在紫外线照射下，玻璃本身会发生变质，再经过热处理就会结晶化（陶瓷化），成为光敏玻璃。无需使用光刻胶，只用氢氟酸即可仅蚀刻结晶化的部分。肖特新产品的特点是，玻璃部与陶瓷部的刻蚀选择比高达30比1，容易加工。

使用光刻胶蚀刻普通玻璃时，蚀刻会向各向同性发展，因此很难实现高深宽比加工。而感光性玻璃是选择性蚀刻结晶化的部分，从原理上来说没有深宽比限制，因此能够实现20～30μm的微细图案加工。

曝光时推荐使用波长320nm的紫外线，可使用“UV300”曝光装置。虽然使用紫外线激光器时扫描耗费时间，但不需要掩模。而且，利用激光的焦点，还可实现玻璃基板内部的隧道结构（横孔）等复杂的立体结构，而使用以往蚀刻技术时必须要层叠玻璃才能实现。实际上，目前已有客户瞄准微流体展开制造，因此有望成为无需掩模即可制造少量生产的MEMS等的手段。

新产品在晶圆状时能够以最大300mm（12英寸）的尺寸供应。在片状时能以最大200mm见方的尺寸供应。

除此之外，肖特还在日本展出用于创意家电等的光敏玻璃（玻璃陶瓷），以及已开始在智能手机指纹传感器盖板中采用的超薄板玻璃等产品。